服务
定制石英件与维修
制造流程
1
原材料
筛选
选用高纯度石英材料，严格符合质量标准。
2
定制
设计
提供原型设计服务，满足特定工艺需求。
3
精密
加工
采用先进的 CNC 加工与研磨技术，确保尺寸精确。
4
热处
理
成品石英器皿经过热处理以防止开裂
5
清洗
与质量检测
通过严格的清洗工艺与质量检测，彻底去除污染物。
在半导体晶圆制造中的应用
化学气相沉积 (CVD)
石英部件确保沉积过程的稳定性与无污染。
热氧化
石英器件在高温硅片氧化过程中保持高纯度。
等离子体刻蚀
石英具备优异的耐化学腐蚀性能，是等离子体刻蚀工艺的关键。
快速热处理 (RTP)
石英器件能够承受快速的温度变化而不发生劣化。
湿法清洗工艺
石英器件为湿法刻蚀批量工艺提供所需的耐化学性与高纯度。
定制石英器皿的优势
量身定制的解决方案能够提升效率，通过降低污染延长组件寿命，并确保与先进半导体技术的无缝兼容。
量身定制
甄选高纯度石英材料，严格符合质量标准。
01.
提升效率
优化设计，确保在苛刻应用环境下的卓越性能。
02.
无污染
有效降低污染，提升组件耐用性与使用寿命。
03.
高度兼容
确保与先进半导体技术的完美兼容。
04.